Was ist der unterschied zwischen n2 und d4

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schichtausbildungseinrichtung zum Ausbilden einer Schicht auf einem Substrat.

Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) ist ein Verfahren, das als ein Verfahren zum Ausbilden einer Schicht auf einem Substrat bekannt ist. Jedoch ist eine Schichtausbildung im Vakuum bei dem CVD-Verfahren notwendig, sodass ein großes Vakuumgehäuse zusätzlich zu beispielsweise einer Vakuumpumpe notwendig ist. Ferner weist das CVD-Verfahren das Problem auf, dass es schwierig ist beispielsweise in Bezug auf Kosten ein großflächiges Substrat als ein Substrat zu verwenden, auf dem die Schicht auszubilden ist. Demgemäß zieht ein Dunstverfahren, welches eine Schichtausbildungsbearbeitung bei einem atmosphärischen Druck ermöglicht, die Aufmerksamkeit auf sich.

Eine Technik aus dem Stand der Technik, die sich auf eine Schichtausbildungsvorrichtung verwendend das Dunstverfahren bezieht, wird beispielsweise in Patentdokument 1 beschrieben.

Gemäß der Technik aus Patentdokument 1 wird ein zerstäubtes Rohmaterial aus einer Dunstspraydüse auf ein Substrat gesprüht, das in einer Atmosphäre angeordnet ist. Eine vorgegebene Schicht wird auf dem Substrat mit dem Spray ausgebildet.

• Patentdokument 1:Internationale Veröffentlichung-Nr. 2013/038484

Jedoch weist die Dunstspraydüse, die in Patentdokument 1 offenbart ist, ein im Folgenden beschriebenes Problem auf. Das heißt, eine zerstäubte Lösung kann mit einer verbleibenden Feuchtigkeit in einem Raum in der Dunstspraydüse reagieren und Partikel werden erzeugt und die Partikel haften in der Nähe einer Sprühöffnung an, wodurch ein Verstopfen der Sprühöffnung hervorgerufen wird.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Schichtausbildungsvorrichtung zur Verfügung zu stellen, die eine Dunstspraydüse aufweist, die ein Verhindern einer Erzeugung eines Verstopfens ermöglicht.

Um die erwähnte Aufgabe zu lösen, ist eine Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Schichtausbildungsvorrichtung, die ein zerstäubtes Rohmaterial in eine Atmosphäre sprüht, um eine Schicht auf einem Substrat auszubilden, umfassend: einen Anordnungsabschnitt, an dem das Substrat angeordnet ist; und einen Dunstsprühkopf, der das Rohmaterial auf eine obere Oberfläche eines Substrats sprüht, das an dem Gehäuseabschnitt angeordnet ist, wobei der Dunstsprühkopf eine Rohmaterialsprühdüse umfasst, die das Rohmaterial sprüht, und einen Rohmaterialausstoßabschnitt, der in einer Seite des Dunstsprühkopfes vorgesehen ist, die auf das Substrat zeigt, sodass das zerstäubte Rohmaterial auf das Substrat gesprüht wird und die Rohmaterialsprühdüse umfasst eine erste Ausnehmung, einen Rohmaterialbereitstellabschnitt, der das zerstäubte Rohmaterial in der ersten Ausnehmung bereitstellt, und einen Rohmaterialentladungsabschnitt, der in eine Seitenoberfläche der ersten Ausnehmung gebohrt ist, die entfernt von einer unteren Oberfläche der ersten Ausnehmung angeordnet ist und der mit dem Rohmaterialausstoßabschnitt verbunden ist.

Eine Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Schichtausbildungsvorrichtung, die ein zerstäubtes Rohmaterial in eine Atmosphäre sprüht, um eine Schicht auf einem Substrat auszubilden, umfassend: einen Anordnungsabschnitt, an dem das Substrat angeordnet ist, und einen Dunstsprühkopf, der das Rohmaterial auf eine obere Oberfläche eines Substrats sprüht, das auf dem Anordnungsabschnitt angeordnet ist, wobei der Dunstsprühkopf eine Rohmaterialdüse, die das Rohmaterial sprüht, und einen Rohmaterialausstoßabschnitt, der in einer Seite des Dunstsprühkopf vorgesehen ist, die auf das Substrat zeigt, umfasst, sodass das zerstäubte Rohmaterial auf das Substrat gesprüht wird und die Rohmaterialsprühdüse umfasst eine erste Ausnehmung, einen Rohmaterialbereitstellabschnitt, der das zerstäubte Rohmaterial in der ersten Ausnehmung bereitstellt, und einen Rohmaterialentladungsabschnitt, der in eine Seitenoberfläche der ersten Ausnehmung gebohrt ist, die entfernt von einer Oberfläche der ersten Ausnehmung angeordnet ist und die mit dem Rohmaterialausstoßabschnitt verbunden ist.

Demgemäß, sogar wenn das Rohmaterial und eine verbleibende Feuchtigkeit miteinander in der Ausnehmung in der Rohmaterialsprühdüse reagieren und Partikel dadurch erzeugt werden, werden die Partikel in einem Bereich zwischen der unteren Oberfläche der Ausnehmung und dem Rohmaterialausstoßabschnitt gefangen. Folglich kann ein Anhaften der Partikel und ein Verstopfen, das durch die Anhaftung in dem Rohmaterialausstoßabschnitt hervorgerufen wird, auch verhindert werden.

1ist eine vergrößerte Querschnittansicht, die eine Konfiguration eines Dunstsprühkopfes100gemäß einer Ausführungsform 1 zeigt.

2ist eine vergrößerte Seitenansicht, die eine Konfiguration des Dunstsprühkopfes100gemäß Ausführungsform 1 zeigt.

3ist eine Draufsicht, die ein Aussehen des Dunstsprühkopfes100gemäß der Ausführungsform 1 zeigt, die von einem Substrat110aus betrachtet wird.

4ist eine vergrößerte Querschnittansicht, die eine Konfiguration des Dunstsprühkopfes100gemäß einer Ausführungsform 2 zeigt.

5ist eine vergrößerte Seitenansicht, die eine Konfiguration des Dunstsprühkopfes100gemäß der Ausführungsform 2 zeigt.

6ist eine Draufsicht, die ein Aussehen des Dunstsprühkopfes100gemäß Ausführungsform 2 zeigt, die von dem Substrat110aus betrachtet wurde.

7ist eine vergrößerte Schnittansicht, die eine Konfiguration des Dunstsprühkopfes100gemäß einer Ausführungsform 3 zeigt.

Die Erfindung wird im Speziellen im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen zum Zeigen der Ausführungsformen davon beschrieben.

1ist eine Querschnittansicht, die eine Hauptkonfiguration (d.h. einen Dunstsprühkopf100) einer Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt.1umfasst auch eine X-Y-Z-Koordinatenachse.2ist eine Zeichnung, die ein Aussehen des Dunstsprühkopfes100, der in einer X-Richtung betrachtet wird, zeigt.2umfasst auch eine X-Y-Z-Koordinatenachse.

Die Schichtausbildungsvorrichtung sprüht ein zerstäubtes Rohmaterial in eine Atmosphäre, wodurch eine Schicht auf dem Substrat110ausgebildet wird. Das heißt, die Schichtausbildungsvorrichtung bildet eine gewünschte Schicht auf dem Substrat110unter Verwendung eines Dunstverfahrens, welches einen Schichtausbildungsvorgang in der Atmosphäre bezeichnet, aus.

Im Speziellen wird das Rohmaterial in einem in den Zeichnungen nicht gezeigten Gehäuse angeordnet und unter Verwendung von Ultraschallvibrationen wird das Rohmaterial in dem Gehäuse zerstäubt. Das zerstäubte Rohmaterial passiert gemeinsam mit einem Trägergas über eine in den Zeichnungen nicht gezeigte Route und wird zu dem Dunstsprühkopf100gefördert.

Das Substrat110wird an einem Anordnungsabschnitt90angeordnet, der als eine Heizeinrichtung wirkt. Das heißt, der Anordnungsabschnitt90kann das Substrat110erwärmen. Der Dunstsprühkopf100ist über dem Substrat110angeordnet. Hier beträgt ein Abstand zwischen einer niedrigen Oberfläche des Dunstsprühkopfes100und einer oberen Oberfläche des Substrats110im Wesentlichen 0,1 mm bis 50 mm zum Zeitpunkt der Schichtausbildungsbearbeitung. Der Dunstsprühkopf100und das Substrat110sind bei atmosphärischem Druck angeordnet. Ein Raum zwischen einer unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100und der oberen Oberfläche des Substrats110wird im Folgenden als Reaktionsraum bezeichnet.

Der Dunstsprühkopf100sprüht das zerstäubte Rohmaterial an die obere Oberfläche des Substrats110, welches auf vorgegebene Temperatur erwärmt wird. Demgemäß wird die gewünschte Schicht auf der Oberseite des Substrats100ausgebildet. Der Anordnungsabschnitt90bewegt sich in einer horizontalen Richtung (in einer X-Z-Ebene) zum Zeitpunkt der Schichtausbildungsbearbeitung. Der Dunstsprühkopf100bewegt sich in der horizontalen Richtung.

Die Konfiguration des Dunstsprühkopfes100wird im Speziellen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Wie in1gezeigt, umfasst der Dunstsprühkopf100eine Rohmaterialsprühdüse N1, eine Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und eine Abgasdüse Nd. Wie in1gezeigt sind die Rohmaterialsprühdüse N1, die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in dieser Reihenfolge entlang der X-Richtung angeordnet. Im Unterschied zu1ist es auch möglich die Reaktionsmaterialsprühdüse N2, die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Abgasdüse Seite an Seite in dieser Reihenfolge entlang der X-Richtung anzuordnen.

Eine Seitenoberfläche der Rohmaterialsprühdüse N1 und eine Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 stehen in Kontakt miteinander und die andere Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse und eine Seitenoberfläche der Abgasdüse Nd werden um einen vorgegebenen Abstand getrennt. Das heißt, die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 grenzen aneinander in der X-Richtung an und die Abgasdüse Nd ist separat von den anderen Düsen N1 und N2 in der X-Richtung angeordnet.

Wie oben beschrieben wurde, sind die Rohmaterialsprühdüse N1, die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in der horizontalen Richtung (der X-Richtung) angeordnet. Hier ist zumindest die Abgasdüse Nd an der äußersten Seite des Dunstsprühkopfes100angeordnet (ein rechtes Ende in1).

Eine Konfiguration der Rohmaterialsprühdüse N1 wird zunächst beschrieben.

Die Rohmaterialsprühdüse N1 ist eine Düse zum Sprühen des zerstäubten Rohmaterials. Ausnehmungen (bezeichnet als eine erste Ausnehmung)2und3sind im Inneren der Rohmaterialsprühdüse N1 ausgebildet. Ein Rohmaterialbereitstellabschnitt1ist an einer oberen Oberfläche der Rohmaterialsprühdüse N1 vorgesehen. Wie oben beschrieben wurde, wird das Rohmaterial außerhalb des Dunstsprühkopfes100zerstäubt. Das zerstäubte Rohmaterial passiert über eine nicht gezeigte Route in den Zeichnungen gemeinsam mit einem Trägergas und wird zu dem Rohmaterialbereitstellabschnitt1gefördert. Ein zerstäubtes Material, das aus dem Rohmaterialbereitstellabschnitt1ausgegeben wird, füllt (wird bereitgestellt an) die Ausnehmungen2und3in der Rohmaterialbereitstelldüse N1.

Ein Begradigungsabschnitt (bezeichnet als ein erster Begradigungsabschnitt)4ist an einem Seitenoberflächenabschnitt in den Ausnehmungen2und3der Rohmaterialsprühdüse N1 vorgesehen. Der Begradigungsabschnitt4, welcher eine Begradigungsplatte ist, kann eine Strömung des zerstäubten Rohmaterials, die von dem Rohmaterialbereitstellabschnitt1bereitgestellt wird, in den Ausnehmungen2und3begradigen.

Der Begradigungsabschnitt4erstreckt sich von dem einen Seitenoberflächenabschnitt in Richtung des anderen Seitenoberflächenabschnitts in den Ausnehmungen2und3in der Rohmaterialsprühdüse N1. Hier zeigt der anderen Seitenoberflächenabschnitt auf den einen Seitenoberflächenabschnitt in der X-Richtung. Ein Randabschnitt des Begradigungsabschnitts4ist an einem Seitenoberflächenabschnitt in der Nähe eines oberen Abschnitts der Rohmaterialsprühdüse N1 befestigt, jedoch ist der andere Seitenabschnitt des Begradigungsabschnitts4nicht mit dem anderen Seitenoberflächenabschnitt verbunden, sodass ein kleiner Spalt zwischen dem anderen Randabschnitt und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt ausgebildet ist. Der Begradigungsabschnitt4ist in den Ausnehmungen2und3vorgesehen, um sich schräg in einer unteren Richtung von dem einen Randabschnitt zu dem anderen Randabschnitt zu erstrecken.

Der Begradigungsabschnitt4trennt die Ausnehmungen2und3in einen kleinen Raum2, der an einem oberen Abschnitt der Rohmaterialsprühdüse1angeordnet ist, und einen schmalen Raum, der an einem unteren Abschnitt der Rohmaterialsprühdüse N1 angeordnet ist. Der schmale Raum2und der schmale Raum3sind miteinander über den Spalt verbunden, der zwischen dem anderen Randabschnitt des Begradigungsabschnitts4und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt vorgesehen ist. Der schmale Raum2ist mit dem Rohmaterialbereitstellanschluss1verbunden und der schmale Raum3ist mit einem Rohmaterialentladungsabschnitt5verbunden, welcher im Folgenden beschrieben wird.

Der Rohmaterialentladungsabschnitt5ist an dem einen Seitenoberflächenabschnitt, der oben beschrieben wurde, in den Ausnehmungen2und3(im Speziellen in dem kleinen Raum3) vorgesehen. Der Rohmaterialentladungsabschnitt5ist an einer Position vorgesehen, die entfernt von einer unteren Oberfläche der Rohmaterialsprühdüse N1 ist (die Ausnehmungen2und3).

In dem Dunstsprühkopf100ist ein Rohmaterialausstoßabschnitt7in der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfs100vorgesehen, das heißt, an einer Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Das zerstäubte Rohmaterial wird aus dem Rohmaterialausstoßabschnitt7zu dem Substrat110ausgestoßen.

Eine Bahn6ist in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen. Der Rohmaterialentladungsabschnitt5ist mit dem Rohmaterialausstoßabschnitt7über die Bahn6verbunden.3ist eine Draufsicht auf den Dunstsprühkopf100, wenn von einer Seite betrachtet, an der das Substrat110angeordnet ist. Das heißt,3ist die Draufsicht, die eine untere Oberflächenstruktur des Dunstsprühkopfes100zeigt. Wie in3gezeigt, bildet der Rohmaterialausstoßabschnitt7ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite der Öffnung (eine Größe in einer X-Richtung in3) beträgt im Wesentlichen 0,1 bis 10 mm.

In der Rohmaterialsprühdüse N1 wird das zerstäubte Rohmaterial von dem Rohmaterialbereitstellabschnitt1in die Ausnehmungen2und3bereitgestellt. Das Rohmaterial wird durch den Begradigungsabschnitt4begradigt und füllt den schmalen Raum2und wird im Anschluss zu dem schmalen Raum3geführt, um den schmalen Raum3zu füllen. Anschließend wird das zerstäubte Rohmaterial von dem Rohmaterialentladungsabschnitt5zu dem Rohmaterialausstoßabschnitt7über die Bahn6geleitet. Das zerstäubte Rohmaterial wird aus dem Rohmaterialausstoßabschnitt7in Richtung der oberen Oberfläche des Substrats110ausgestoßen.

Als nächstes wird eine Konfiguration der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 beschrieben.

Die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 ist eine Düse zum Ausstoßen eines Reaktionsmaterials, die zu einer Reaktion mit dem Rohmaterial (beispielsweise ein Oxidationsmittel) an dem Substrat110beiträgt. Ausnehmungen (bezeichnet als eine zweite Ausnehmung)12und13sind im Inneren der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 ausgebildet. Ein Rohmaterialbereitstellabschnitt11ist in einer oberen Oberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 vorgesehen. Das Rohmaterial wird von außerhalb der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 in die Ausnehmungen12und13über den Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt11bereitgestellt.

Im Folgenden kann das Reaktionsmaterial gasförmig oder flüssig sein. Wenn das Reaktionsmaterial die Flüssigkeit ist, verläuft die Flüssigkeit (das Reaktionsmaterial), die mit Ultraschallschwingungen zerstäubt wurde, beispielsweise gemeinsam mit einem Trägergas über eine in den Zeichnungen nicht gezeigte Route und wird zu der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 gefördert. Das Reaktionsmaterial, das aus dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt1ausgegeben wird, füllt (wird bereitgestellt an) die Ausnehmungen12und13in der Reaktionsmaterialsprühdüse N2.

Ein Begradigungsabschnitt (bezeichnet als eine zweite Begradigungseinheit)14ist an einem Seitenoberflächenabschnitt in den Ausnehmungen12und13der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 vorgesehen. Der Begradigungsabschnitt14, welcher eine Begradigungsplatte ist, kann eine Strömung des Reaktionsmaterials, das von dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt11bereitgestellt wird, in den Ausnehmungen12und13begradigen.

Der Begradigungsabschnitt14erstreckt sich von einem Seitenoberflächenabschnitt in Richtung des anderen Seitenoberflächenabschnitts in den Ausnehmungen12und13der Reaktionsmaterialsprühdüse N2. Hier zeigt der andere Seitenoberflächenabschnitt auf den einen Seitenoberflächenabschnitt, der oben beschrieben wurde in der X-Richtung. Ein Randabschnitt des Begradigungsabschnitts14ist an dem einen Seitenoberflächenabschnitt in der Nähe des oberen Abschnitts der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 befestigt, jedoch ist der andere Randabschnitt des Begradigungsabschnitts14nicht mit dem anderen Seitenoberflächenabschnitt verbunden, sodass ein schmaler Spalt zwischen dem anderen Randabschnitt und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt ausgebildet wird. Der Begradigungsabschnitt14ist in den Ausnehmungen12und13vorgesehen, um sich schräg in einer unteren Richtung von dem einen Randabschnitt zu dem anderen Randabschnitt zu erstrecken.

Der Begradigungsabschnitt14trennt die Ausnehmungen12und13in einen kleinen Raum12, der in einem oberen Abschnitt der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 angeordnet ist, und einen kleinen Raum13, der in einem unteren Abschnitt in der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 angeordnet ist. Der schmale Raum12und der schmale Raum13sind miteinander über den Spalt verbunden, der zwischen dem anderen Randabschnitt des Begradigungsabschnittes14und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt ausgebildet ist. Der kleine Raum12ist mit dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt11verbunden, und der kleine Raum13ist mit einem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15verbunden, welcher im Folgenden beschrieben wird.

Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15ist an dem einen Seitenoberflächenabschnitt, der oben beschrieben wurde, in den Ausnehmungen12und13(im Speziellen in dem kleinen Raum13) vorgesehen. Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15ist an einer Position vorgesehen, die sich entfernt von einer unteren Oberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 (die Ausnehmungen12und13) befindet.

In dem Dunstsprühkopf100ist ein Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17in der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100vorgesehen, das heißt, in einer Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Das Reaktionsmaterial wird aus dem Reaktionsmaterialsprühkopf17zu dem Substrat110ausgestoßen.

Eine Bahn16ist in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen. Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15ist mit dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17über die Bahn16verbunden. Wie in3gezeigt, bildet der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite der Öffnung (eine Größe in der X-Richtung in3) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

Das Reaktionsmaterial wird von dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt11in die Ausnehmungen12und13in der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 bereitgestellt. Anschließend wird das Reaktionsmaterial durch den Begradigungsabschnitt14begradigt und füllt den schmalen Raum12und wird danach zu dem schmalen Raum13geführt, um den schmalen Raum13zu füllen. Anschließend wird das Reaktionsmaterial von dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15zu dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17über die Bahn16geführt. Das Reaktionsmaterial wird aus dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17zu der oberen Oberfläche des Substrats110ausgestoßen.

Als nächstes wird eine Konfiguration der Abgasdüse Nd beschrieben.

Die Abgasdüse Nd ist eine Düse zum Durchführen einer Abgasbearbeitung. Die Abgasdüse Nd führt die Abgasbearbeitung bei einer Strömungsrate (Q3) durch, die gleich oder größer ist als eine Summe einer Strömungsrate (Q1), mit welcher die Rohmaterialsprühdüse N1 das Rohmaterial ausstößt, und einer Strömungsrate (Q2), mit der die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 das Rohmaterial ausstößt. Das heißt, die folgende Gleichung ist erfüllt: die Abgasströmungsrate Q3 ≥ die Ausstoßströmungsrate des Rohmaterials Q1 + die Ausstoßströmungsrate des Rohmaterials Q2.

Ausnehmungen (bezeichnet als eine dritte Ausnehmung) d2 und d3 sind im Inneren der Abgasdüse Nd ausgebildet. Ein Abgasmaterialauslass d1 ist in einer oberen Oberfläche der Abgasdüse Nd vorgesehen. Der Abgasmaterialauslass d1 ist in der oberen Oberfläche der Abgasdüse Nd vorgesehen und im Speziellen ist der Abgasmaterialauslass d1 über einem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 vorgesehen, welcher im Folgenden beschrieben wird, um das Abgasmaterial aus der Abgasdüse Nd aus den Ausnehmungen d2 und d3 auszustoßen.

Hier bezeichnet ein Abgasmaterial einen Reaktionsrest, der beispielsweise in dem Reaktionsraum erzeugt wird. Der Abgasmaterialausgabeabschnitt d1 ist mit einer nicht gezeigten Abgaspumpe über eine nicht gezeigte Route verbunden. Das heißt, das Abgasmaterial wird über die Abgasdüse Nd in die Abgaspumpe, die oben beschrieben wurde, über den Abgasmaterialauslass d1 und die oben beschriebene Route eingesaugt.

Eine Vielzahl Begradigungsabschnitte (bezeichnet als ein dritter Begradigungsabschnitt) d4 ist in den Ausnehmungen d2 und d3 der Abgasdüse Nd vorgesehen. Die Begradigungsabschnitte d4, welches Begradigungsplatten sind, können eine Strömung des Abgasmaterials, das von einem Abgasmaterialeinführabschnitt d6 eingeführt wurde, der später beschrieben wird, in den Ausnehmungen d2 und d3 begradigen.

Einige der Begradigungsabschnitte d4 sind an einem Seitenoberflächenabschnitt der Ausnehmungen d2 und d3 angeordnet, und verbleibende Begradigungsabschnitte d4 sind an dem anderen Seitenoberflächenabschnitte der Ausnehmungen d2 und d3 befestigt. Hier zeigt der andere Seitenoberflächenabschnitt auf den einen Seitenoberflächenabschnitt in der X-Richtung. Jeder Begradigungsabschnitt d4, der an einem Seitenoberflächenabschnitt befestigt ist, erstreckt sich in Richtung des anderen Seitenoberflächenabschnitts, und jeder Begradigungsabschnitt d4, der an dem anderen Seitenoberflächenabschnitt befestigt ist, erstreckt sich in Richtung des einen Seitenoberflächenabschnitts.

Wenn ein Randabschnitt des Begradigungsabschnittes d4 an dem einen Seitenoberflächenabschnitt befestigt wird, bildet der andere Randabschnitt des Begradigungsabschnitts d4 einen freien Rand aus, der nicht mit irgendeinem der Elemente in den Ausnehmungen d2 und d3 verbunden ist. Wenn ein Randabschnitt des Begradigungsabschnittes d4 an dem anderen Seitenoberflächenabschnitt befestigt wird, bildet der andere Randabschnitt des Begradigungsabschnitts d4 einen freien Rand aus, der mit keinem der Elemente in den Ausnehmungen d2 und d3 verbunden ist. Jeder Begradigungsabschnitt4ist in den Ausnehmungen d2 und d3 vorgesehen, um sich schräg in einer unteren Richtung von dem einen Randabschnitt zu dem anderen Randabschnitt zu erstrecken. Hier sind der Begradigungsabschnitt d4, der an dem einen Seitenoberflächenabschnitt befestigt ist, und der Begradigungsabschnitt d4, der an dem anderen Seitenoberflächenabschnitt befestigt ist, alternierend von einer Oberseite zu einer Unterseite der Abgasdüse Nd angeordnet.

Die Vielzahl Begradigungsabschnitte d4 trennt die Ausnehmungen d2 und d3 der Abgasdüse Nd in eine Vielzahl kleine Räume. Die kleinen Räume, die angrenzend aneinander sind, werden über kleine Spalte verbunden, die durch die Begradigungsabschnitte d4 ausgebildet werden. Die Vielzahl kleiner Räume umfasst einen kleinen Raum d2, der in einem obersten Abschnitt der Abgasdüse Nd angeordnet ist, und einen kleinen Raum d3, der in einem untersten Abschnitt der Abgasdüse Nd angeordnet ist. Der kleine Raum d2 ist mit dem Abgasmaterialauslass d1 verbunden und der kleine Raum d3 ist mit dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 verbunden, der im Folgenden beschrieben wird.

Der Abgasmaterialeinführabschnitt d5 ist an dem anderen Seitenoberflächenabschnitt, der oben beschrieben wurde, in den Ausnehmungen d2 und d3 vorgesehen (im Speziellen der kleine Raum d3). Der Abgasmaterialeinführabschnitt d5 ist an einer Position vorgesehen, die sich entfernt von einer unteren Oberfläche der Abgasdüse Nd befindet (die Ausnehmungen d2 und d3).

In dem Dunstsprühkopf100wird ein Abgasabschnitt d7 in der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100vorgesehen, das heißt, in der Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Hier führt der Abgasabschnitt d7 eine Ausstoßbearbeitung an dem Reaktionsraum durch.

Die Bahn d6 ist in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen. Der Abgasmaterialeinführabschnitt d5 ist mit dem Abgasabschnitt d7 über die Bahn d6 verbunden. Wie in3gezeigt, bildet der Abgasabschnitt d7 ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite der Öffnung (eine Größe in der X-Richtung in3) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

Wie in1und3gezeigt, sind der Rohmaterialausstoßabschnitt7, der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17und der Abgasabschnitt d7 in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet. Obwohl im Unterschied zu den Zeichnungen stehend, können der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17, der Rohmaterialausstoßabschnitt7und der Abgasabschnitt d7 in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet sein.

In der Abgasdüse Nd wird das Abgasmaterial in dem Reaktionsraum aus dem Abgasabschnitt d7 gesaugt. Das Abgasmaterial wird zu dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 über die Bahn d6 gefördert. Das Abgasmaterial, das aus dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 zu dem kleinen d3 ausgegeben wird, wird durch den Begradigungsabschnitt d4 begradigt und bewegt sich anschließend zu dem kleinen Raum d2. Im Anschluss wird das Abgasmaterial aus der Abgasdüse Nd über den Abgasmaterialauslass d1 entladen.

Wie oben beschrieben wurde, ist die Abgasdüse Nd getrennt von den anderen Düsen N1 und N2 in der X-Richtung angeordnet. Demgemäß wird ein offener Deckenabschnitt35zwischen der Abgasdüse Nd und den anderen Düsen N1 und N2 erzeugt. Folglich wird der Dunstsprühkopf100mit einem Basisplattenabschnitt36versehen. Der Basisplattenabschnitt36deckt den offenen Deckenabschnitt35von einer Seite ab, an der sich das Substrat110befindet (siehe1und3).

Unter Bezugnahme auf3umfasst der Dunstsprühkopf100einen Rahmen30des Dunstsprühkopfes100in der Seite (untere Oberfläche) des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Der Rahmen30, welches ein Randabschnitt der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100ist, grenzt an und umgibt eine innere Abschnittsseite der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100. Wie in1erkannt werden kann, erstreckt sich der Rahmen30in Richtung der Substratseite110. Das heißt, der Reaktionsraum wird von dem Rahmen30umschlossen. Jedoch stehen der Randabschnitt des Rahmens30und die obere Oberfläche des Substrats110nicht in Kontakt miteinander.

Wenn das zerstäubte Rohmaterial und das Reaktionsmaterial auf den Reaktionsraum gesprüht werden, reagieren das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial miteinander auf dem erwärmten Substrat110und die gewünschte Schicht wird dadurch an der oberen Oberfläche des Substrats110ausgebildet. Ein Reaktionsrest, der in dem Reaktionsraum erzeugt wurde, wird beispielsweise aus dem Reaktionsraum mit der Abgasdüse Nd entfernt.

Wie oben beschrieben wurde, umfasst die Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform den Dunstsprühkopf100und der Dunstsprühkopf100umfasst die Rohmaterialsprühdüse N1. Die Rohmaterialsprühdüse N1 ist in den Ausnehmungen2und3mit dem Rohmaterialentladungsabschnitt5versehen, der in einem Seitenoberflächenabschnitt vorgesehen ist, der sich entfernt von der unteren Oberfläche der Ausnehmungen2und3befindet.

Demgemäß, sogar wenn das Rohmaterial und eine Restfeuchte miteinander in den Ausnehmungen2und3in der Rohmaterialsprühdüse N1 reagieren und Partikel dadurch erzeugt werden, werden die Partikel in einem Bereich zwischen der unteren Oberfläche und dem Rohmaterialentladungsabschnitt5in dem kleinen Raum3gefangen. Das heißt, der obige Bereich in dem kleinen Raum3wirkt als eine Partikelfalle und die Partikel werden in dem obigen Bereich gesammelt, sodass die Partikel daran gehindert werden können zu dem Rohmaterialentladungsabschnitt5, der Bahn6und dem Rohmaterialausstoßabschnitt7gefördert zu werden. Folglich können ein Anhaften der Partikel an den Abschnitten5,6und7und eine Verstopfung, die durch das Anhaften hervorgerufen wird, verhindert werden.

Obwohl im Unterschied zu der obigen Konfiguration die Anordnung des Begradigungsabschnittes4weggelassen werden kann, wird der Begradigungsabschnitt4in den Ausnehmungen2und3in der Rohmaterialsprühdüse N1 vorgesehen.

Demgemäß kann die Strömung des zerstäubten Rohmateriales in den Ausnehmungen2und3begradigt werden und die Partikel können zuverlässiger in dem Bereich gefangen werden, der als die Partikelfalle wirkt. Der Seitenoberflächenabschnitt, an dem der Begradigungsabschnitt4befestigt ist, ist der gleiche wie die Seitenoberfläche, in der der Rohmaterialentladungsabschnitt5vorgesehen ist (beide Abschnitte4und5sind in dem einen Seitenoberflächenabschnitt vorgesehen). Folglich kann beispielsweise ein Flüssigkeitstropfen daran gehindert werden einen Seitenoberflächenabschnitt hinab zu laufen und in den Rohmaterialentladungsabschnitt5zu fließen.

Der Rohmaterialausstoßabschnitt7bildet das längliche Öffnungsloch mit der schlitzartigen Form aus. Demgemäß kann das zerstäubte Rohmaterial gleichmäßig auf das Substrat110mit der großen Oberfläche gesprüht werden.

Obwohl im Unterschied zu der obigen Konfiguration die Anordnung der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 weggelassen werden kann, weist der Dunstsprühkopf100die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 auf. Demgemäß kann die Reaktion bei der Schichtausbildungsbearbeitung in der Atmosphäre begünstigt werden. Eine breite Anzahl Schichten kann ausgebildet werden.

Die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 ist in den Ausnehmungen12und13mit dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15versehen, der in dem einen Seitenoberflächenabschnitt angeordnet ist, der entfernt von der unteren Oberfläche der Ausnehmungen12und13angeordnet ist.

Demgemäß, sogar wenn das Reaktionsmaterial und die Atmosphäre miteinander in den Ausnehmungen12und13in der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 reagieren und dadurch Partikel erzeugt werden, werden die Partikel in einem Bereich zwischen der unteren Oberfläche und dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15in dem kleinen Raum13gefangen. Das heißt, der obige Bereich in dem kleinen Raum13wirkt als eine Partikelfalle und die Partikel werden in dem obigen Bereich gefangen, sodass die Partikel daran gehindert werden können zu dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15, der Bahn16und dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17gefördert zu werden. Folglich können ein Anhaften der Partikel an den Abschnitten15,16und17und eine Verstopfung, die durch die Anhaftung hervorgerufen wird, verhindert werden.

Obwohl im Unterschied zu der obigen Konfiguration stehend, kann die Anordnung des Begradigungsabschnittes14weggelassen werden, wobei der Begradigungsabschnitt14in den Ausnehmungen12und13in der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 vorgesehen wird.

Demgemäß kann die Strömung des Reaktionsmaterials in den Ausnehmungen12und13begradigt werden und die Partikel können zuverlässiger in dem Bereich gefangen werden, der als die Partikelfalle wirkt. Der Seitenoberflächenabschnitt, an dem der Begradigungsabschnitt14befestigt ist, ist der gleiche wie die Seitenoberfläche, in der der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15vorgesehen ist (beide Abschnitte14und15sind in dem einen Seitenoberflächenabschnitt vorgesehen). Folglich kann beispielsweise ein Flüssigkeitstropfen daran gehindert werden den einen Seitenoberflächenabschnitt hinab zu laufen und in den Reaktionsmaterialentladungsabschnitt15zu fließen.

Der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17bildet das längliche Öffnungsloch mit der schlitzartigen Form aus. Demgemäß kann das Reaktionsmaterial gleichmäßig auf das Substrat110mit der großen Oberfläche gesprüht werden.

Obwohl im Unterschied zu der obigen Konfiguration stehend, kann die Anordnung der Abgasdüse Nd weggelassen werden, wobei der Dunstsprühkopf100die Abgasdüse Nd aufweist. Demgemäß kann die Strömung des Rohmateriales und des Reaktionsmateriales, die zu der Abgasdüse Nd strömt, erzeugt werden. Folglich kann eine Turbulenz in der Strömung des Rohmateriales in beispielsweise dem Reaktionsraum verhindert werden, sodass eine Schichtqualität der auszubildenden Schicht verbessert werden kann. Eine Diffusion des Rohmaterials aus beispielsweise dem Reaktionsraum kann unterdrückt werden.

Die folgende Gleichung wird bei der Abgasverarbeitung erfüllt: die Abgasströmungsrate Q3 ≥ die Abgasströmungsrate des Rohmaterials Q1 + die Abgasströmungsrate des Reaktionsmaterial Q2. Demgemäß können das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial, die in den Reaktionsraum gesprüht wurden, zusätzlich die Strömung, die oben beschrieben wurde, in dem Reaktionsraum sicherstellen. Eine Diffusion des Rohmaterials und des Reaktionsmaterials aus dem Reaktionsraum kann zuverlässig verhindert werden.

Die Rohmaterialsprühdüse N1, die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und die Abgasdüse Nd sind Seite an Seite entlang der X-Richtung angeordnet, und zumindest die Abgasdüse Nd ist an der äußersten Seite des Dunstsprühkopfes100angeordnet.

Demgemäß bewegen sich das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial zu der äußersten Seite des Dunstsprühkopfes100in dem Reaktionsraum. Demgemäß wird ein Bereich, in dem das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial das Substrat110kontaktieren, maximiert, sodass eine Erzeugung eines sich im Ausgangszustand befindenden Rohmaterials in beispielsweise dem Reaktionsraum minimiert werden kann.

Die Abgasdüse Nd ist in den Ausnehmungen d2 und d3 mit dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 versehen, der in dem anderen Seitenoberflächenabschnitt angeordnet ist, der sich entfernt von der unteren Oberfläche der Ausnehmungen d2 und d3 befindet.

Demgemäß wird das Abgasmaterial, das aus dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 hin zu den Ausnehmungen d2 und d3 entnommen wurde, in einem Bereich zwischen der unteren Oberfläche und dem Abgasmaterialeinführabschnitt d5 in dem kleinen Raum d3 eingesperrt. Das heißt, der obige Bereich in dem kleinen Raum d3 wirkt als eine Partikelfalle und das Abgasmaterial, das die große Partikelgröße aufweist, wird in dem obigen Bereich eingesperrt, sodass das Abgasmaterial aufweisend die große Partikelgröße daran gehindert werden kann über den Abgasmaterialauslass d1 hinweg zu strömen. Gemäß der obigen Konfiguration kann eine Lebensdauer eines Filters, der in der Abgaspumpe vorgesehen ist, verlängert werden.

Obwohl im Unterschied zu der obigen Konfiguration stehend, kann die Anordnung des Begradigungsabschnittes d4 weggelassen werden, wobei die Vielzahl Begradigungsabschnitte d4 in den Ausnehmungen d2 und d3 in der Abgasdüse Nd vorgesehen wird.

Demgemäß kann das Abgasmaterial aufweisend die große Partikelgröße zuverlässig daran gehindert werden über den Abgasmaterialauslass d1 zu strömen. Gemäß der obigen Konfiguration kann die Lebensdauer des Filters, der in der Abgaspumpe vorgesehen ist, weiter verlängert werden.

Der Abgasabschnitt d7 bildet das verlängerte Öffnungsloch aufweisend die schlitzartige Form aus. Demgemäß kann die Abgasverarbeitung über einen breiteren Bereich durchgeführt werden. Die Strömung des Rohmaterials zu beispielsweise dem Abgasabschnitt d7 in der X-Richtung kann gleichmäßig ausgestaltet werden.

Der Dunstsprühkopf100weist die Basisplatte36, die den Öffnungsdeckenabschnitt35von der Seite aus abdeckt, an der das Substrat110angeordnet ist. Demgemäß, sogar wenn die Abgasdüse Nd separat von den anderen Düsen N1 und N2 angeordnet ist, kann das Rohmaterial beispielsweise daran gehindert werden von dem Reaktionsraum in den offenen Deckenabschnitt35zu strömen. Die Abgasdüse Nd und die anderen Düsen N1 und N2 können einfach in dem Dunstsprühkopf100montiert werden.

Der Rahmen30des Dunstsprühkopfes100erstreckt sich in Richtung der Substratseite110. Demgemäß kann der Reaktionsraum so eingeschlossen werden, dass die Diffusion des Rohmaterials aus beispielsweise dem Reaktionsraum unterdrückt werden kann.

Der Anordnungsabschnitt90oder der Dunstsprühkopf100können sich in der Horizontalrichtung bewegen. Demgemäß kann die Schichtausbildungsbearbeitung verwendend die Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform (Dunstsprühkopf100) auf einer gesamten Oberfläche des Substrats110aufweisend die Fläche mit großer Oberfläche durchgeführt werden.

In der vorliegenden Ausführungsform werden zwei Reaktionsmaterialsprühdüsen angewendet.

4ist eine Querschnittsansicht, die eine Hauptkonfiguration (d.h. einen Dunstsprühkopf100) einer Schichtausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt.4umfasst auch eine X-Y-Z-Koordinatenachse.5ist eine Zeichnung, die ein Aussehen des Dunstsprühkopfes100, der in4gezeigt ist, wenn in einer X-Richtung betrachtet, zeigt.5umfasst auch eine X-Y-Z-Koordinatenachse.6ist eine Draufsicht, die den Dunstsprühkopf100, der in4gezeigt ist, wenn von einer Seite betrachtet, an der das Substrat110angeordnet ist, zeigt. Das heißt,6ist eine Draufsicht, die eine untere Oberflächenstruktur des Dunstsprühkopfes100, der in4gezeigt ist, zeigt.

Die Konfiguration des Dunstsprühkopfes100gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird im Speziellen unter Verwendung der Zeichnungen beschrieben.

Wie in4gezeigt, umfasst der Dunstsprühkopf100eine Reaktionsmaterialsprühdüse N3, eine Rohmaterialsprühdüse N1, eine Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und eine Abgasdüse Nd. Wie in4gezeigt, sind die Reaktionsmaterialsprühdüse N3, die Rohmaterialsprühdüse N1, die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in dieser Reihenfolge entlang der X-Richtung angeordnet. Das heißt, die Rohmaterialsprühdüse N1 ist zwischen der Reaktionsmaterialsprühdüse N2, die in einer Seite angeordnet ist, und der Reaktionsmaterialsprühdüse N3, die in Seitenansicht in der andern Seite angeordnet ist, angeordnet (in der X-Richtung).

Eine Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N1 und eine Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 stehen in Kontakt miteinander. Die anderen Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N1 und eine Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 stehen in Kontakt miteinander. Jedoch werden die andere Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und eine Seitenoberfläche der Abgasdüse Nd um einen vorgegebenen Abstand getrennt. Das heißt, die Reaktionsmaterialsprühdüse N3, die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 grenzen aneinander in der X-Richtung an und die Abgasdüse Nd ist getrennt von den Düsen N1, N2, und N3 in der X-Richtung angeordnet.

Wie oben beschrieben wurde, sind die Reaktionsmaterialsprühdüse N3, die Rohmaterialsprühdüse N1, die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in der Horizontalrichtung (die X-Richtung) angeordnet. Hier ist zumindest die Abgasdüse Nd an einer äußersten Seite des Dunstsprühkopfes100(am rechten Ende von4) angeordnet.

Der Dunstsprühkopf100sprüht das zerstäubte Rohmaterial auf die obere Oberfläche des Substrats110, welches auf eine vorgegebene Temperatur erwärmt wird. Demgemäß wird die gewünschte Schicht auf der oberen Oberfläche des Substrats110ausgebildet. Der Anordnungsabschnitt90bewegt sich in der Horizontalrichtung (in der X-Z-Ebene) zum Zeitpunkt der Schichtausbildungsbearbeitung. Der Dunstsprühkopf100bewegt sich in der horizontalen Richtung.

Im Folgenden ist der Aufbau der Rohmaterialsprühdüse N1, der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 und der Abgasdüse Nd in dem Dunstsprühkopf100gemäß der Ausführungsform 1 der gleiche wie der des Dunstsprühkopfes100gemäß der vorliegenden Ausführungsform. Demgemäß wird die Beschreibung der Konfigurationen dieser Elemente N1, N2, und Nd hier weggelassen.

Die Konfiguration der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 ist die gleiche wie die der Reaktionsmaterialsprühdüse N2.

Das heißt, die Reaktionsmaterialsprühdüse N3 ist eine Düse zum Ausstoßen eines Reaktionsmaterials, das zu einer Reaktion mit dem Rohmaterial (das Reaktionsmaterial kann das gleiche sein oder sich von dem Reaktionsmaterial unterscheiden, das aus der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 ausgestoßen wurde) an dem Substrat110beiträgt. Ausnehmungen (bezeichnet als eine zweite Ausnehmung)22und23sind im inneren der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 ausgebildet. Ein Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21ist an einer oberen Oberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 vorgesehen. Das Reaktionsmaterial wird von außerhalb der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 in die Ausnehmungen22und23über den Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21bereitgestellt.

Hier kann das Reaktionsmaterial gasförmig oder flüssig sein. Wenn das Reaktionsmaterial flüssig ist, wird die Flüssigkeit (das Reaktionsmaterial) durch Ultraschallschwingungen beispielsweise zerstäubt, verläuft über eine in den Zeichnungen nicht gezeigte Route gemeinsam mit einem Trägergas, und wird zu der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 gefördert. Das Reaktionsmaterial, das aus dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21ausgegeben wird, füllt (wird bereitgestellt an) die Ausnehmungen22und23in der Reaktionsmaterialsprühdüse N3.

Ein Begradigungsabschnitt (bezeichnet als zweite Begradigungseinheit)24ist an einem Seitenoberflächenabschnitt in den Ausnehmungen22und23der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 vorgesehen. Der Begradigungsabschnitt24, welches eine Begradigungsplatte ist, kann eine Strömung des Reaktionsmaterials, das von dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21bereitgestellt wird, in den Ausnehmungen22und23begradigen.

Der Begradigungsabschnitt24erstreckt sich von einem Seitenoberflächenabschnitt in Richtung des anderen Seitenoberflächenabschnitts in den Ausnehmungen22und23der Reaktionsmaterialsprühdüse N3. Hier zeigt der andere Seitenoberflächenabschnitt auf den einen Seitenoberflächenabschnitt in der X-Richtung. Ein Randabschnitt des Begradigungsabschnittes24ist an dem einen Seitenoberflächenabschnitt in der Nähe des oberen Abschnitts der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 befestigt, jedoch ist der anderen Randabschnitt des Begradigungsabschnittes24nicht mit dem anderen Seitenoberflächenabschnitt verbunden, sodass eine kleine Lücke zwischen dem anderen Randabschnitt und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt ausgebildet wird. Der Begradigungsabschnitt24ist in den Ausnehmungen22und23vorgesehen, um sich schräg in einer unteren Richtung von einem Randabschnitt zu dem anderen Randabschnitt zu erstrecken.

Der Begradigungsabschnitt24trennt die Ausnehmungen22und23in einen kleinen Raum22, der in einem oberen Abschnitt der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 angeordnet ist, und einen schmalen Raum23, der in einem unteren Abschnitt der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 angeordnet ist. Der schmale Raum22und der schmale Raum23sind miteinander über den Spalt verbunden, der zwischen dem anderen Randabschnitt des Begradigungsabschnitts24und dem anderen Seitenoberflächenabschnitt ausgebildet ist. Der kleine Raum22ist mit dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21verbunden und der schmale Raum23ist mit dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt25verbunden, der im Folgenden beschrieben wird.

Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt25ist an dem einen Seitenoberflächenabschnitt vorgesehen, der oben in den Ausnehmungen22und23beschrieben wird (im Speziellen der kleine Raum23). Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt25ist an einer Position vorgesehen, die entfernt von der unteren Oberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 vorgesehen ist (die Ausnehmungen22und23).

In dem Dunstsprühkopf100ist ein Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27in der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100vorgesehen, das heißt, in der Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Das Reaktionsmaterial wird aus dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27zu dem Substrat110ausgestoßen.

Eine Bahn26ist in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen. Der Reaktionsmaterialentladungsabschnitt25ist mit dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27über die Bahn26verbunden. Wie in6gezeigt, bildet der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite der Öffnung (eine Größe in der X-Richtung in6) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

In der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 wird das Reaktionsmaterial von dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt21in die Ausnehmungen22und23bereitgestellt. Anschließend wird das Reaktionsmaterial durch den Begradigungsabschnitt24begradigt und füllt den schmalen Raum22und wird im Folgenden zu dem schmalen Raum23geführt, um den schmalen Raum23zu füllen. Anschließend wird das Reaktionsmaterial von dem Reaktionsmaterialentladungsabschnitt25zu dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27über die Bahn26geführt. Das Reaktionsmaterial wird aus dem Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27zu der oberen Oberfläche des Substrats110ausgestoßen.

Wie in4und6gezeigt, sind der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27, der Rohmaterialausstoßabschnitt7, der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17, und der Abgasabschnitt d7 in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet.

Wie in4und6gezeigt, sind der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt27, der Rohmaterialausstoßabschnitt7, der Reaktionsmaterialausstoßabschnitt17und der Abgasabschnitt d7 in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet.

Die Abgasdüse Nd ist getrennt von den anderen Düsen N1, N2 und N3 in der X-Richtung angeordnet. Demgemäß wird ein offener Deckenabschnitt35zwischen der Abgasdüse Nd und den anderen N1, N2 und N3 erzeugt. Folglich ist der Dunstsprühkopf100mit einem Basisplattenabschnitt36versehen. Der Basisplattenabschnitt36deckt den offenen Deckenabschnitt35von einer Seite aus ab, an der das Substrat110angeordnet ist (siehe4und6).

In der vorliegenden Ausführungsform ist der Basisplattenabschnitt36mit einem inaktiven Gasbereitstellabschnitt (nicht gezeigt) einer Bahn44und einem Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas (siehe4und6) versehen.

Ein inaktives Gas, welches von außerhalb des Dunstsprühkopfes100gesendet wird, wird dem Basisplattenabschnitt36über den Gasbereitstellabschnitt für inaktives Gas bereitgestellt. Die Bahn44ist in dem Basisplattenabschnitt36vorgesehen und das bereitgestellte inaktive Gas bewegt sich in der Bahn44. Der Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas ist in einer Seite der Basisplatte36vorgesehen, die auf das Substrat110zeigt und das inaktive Gas wird aus dem Gasausstoßabschnitt38für inaktives Gas in Richtung des Substrats110gesprüht. Wie in6gezeigt, bildet der Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite der Öffnung (eine Größe in der X-Richtung in6) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

Der Basisplattenabschnitt36gemäß der Ausführungsform 1 ist nicht mit dem Gasbereitstellabschnitt für inaktives Gas, der Bahn44und dem Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas, der oben beschrieben wurde, versehen. Jedoch kann der Basisplattenabschnitt36gemäß der Ausführungsform 1 auch mit dem Gasbereitstellabschnitt für inaktives Gas, der Bahn44, und dem Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas auf eine ähnliche Weise zu dem Basisplattenabschnitt36gemäß der vorliegenden Ausführungsform versehen sein.

Ferner ist der Basisplattenabschnitt36gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit einem Temperatureinstellabschnitt im Inneren davon versehen. Der Temperatureinstellabschnitt28kann eine Temperatur in dem Basisplattenabschnitt36einstellen.

Der Basisplattenabschnitt36gemäß der Ausführungsform 1 ist nicht mit dem Temperatureinstellabschnitt28der oben beschrieben wurde, versehen. Jedoch kann der Basisplattenabschnitt36gemäß der Ausführungsform 1 auch mit dem Temperatureinstellabschnitt28auf eine ähnliche Weise zu dem Basisplattenabschnitt36gemäß der vorliegenden Ausführungsform versehen werden.

Im Folgenden werden in der vorliegenden Ausführungsform Temperatureinstellabschnitte8,18und28auch in der Rohmaterialsprühdüse N1 und den Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 vorgesehen. Die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 sind gemäß der Ausführungsform 1 nicht mit den Temperatureinstellabschnitten8und18, die oben beschrieben wurden, versehen. Jedoch können die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Reaktionsmaterialsprühdüse N2 gemäß der Ausführungsform 1 auch mit den Temperatureinstellabschnitten8und18auf eine ähnliche Weise zu der Rohmaterialsprühdüse N1 und der Reaktionsmaterialsprühdüse N2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform versehen werden.

Unter Bezugnahme auf6umfasst der Dunstsprühkopf100einen Rahmen30des Dunstsprühkopfes100in der Seite (untere Oberfläche) des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Der Rahmen30, welches ein Randabschnitt der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100ist, grenzt an und umgibt eine innere Abschnittsseite der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100. Wie aus4erkannt werden kann, erstreckt sich der Rahmen30in Richtung des Substratseite110.

Das heißt, der Reaktionsmaterialraum wird durch den Rahmen30umschlossen. Jedoch stehen der Randabschnitt des Rahmens30und die obere Oberfläche des Substrats110nicht in Kontakt miteinander.

Ferner ist unter Bezugnahme auf4und6in der vorliegenden Ausführungsform der Dunstsprühkopf100mit Breitstellabschnitten39und41für inaktives Gas, Bahnen45und46und Ausstoßabschnitten40und42für inaktives Gas versehen.

Das inaktive Gas, das von außerhalb des Dunstsprühkopfes100gesendet wird, wird dem Dunstsprühkopf100über die Bereitstellabschnitte39und41für inaktives Gas bereitgestellt. Die Bahnen45und46sind in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen und das bereitgestellte inaktive Gas bewegt sich in den Bahnen45und46. Die Ausstoßabschnitte40und42für inaktives Gas sind in einer Seite des Dunstsprühkopfes100vorgesehen, die auf das Substrat110zeigt, und das inaktive Gas wird aus den Ausstoßabschnitten40und42für inaktives Gas auf das Substrat110gesprüht.

Wie in6gezeigt, bildet jeder der Ausstoßabschnitte40und42für inaktives Gas ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite von jeder Öffnung (eine Größe des Ausstoßabschnittes für inaktives Gas40in der X-Richtung in6und eine Größe des Ausstoßabschnittes42für inaktives Gas in einer Z-Richtung in6) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

Wie in4und6gezeigt, ist in einem Randabschnitt des Dunstsprühkopfes100, der auf die Abgasdüse Nd zeigt, der Ausstoßabschnitt40für inaktives Gas in dem Rahmen30, der oben beschrieben wurde oder in einer an den Rahmen30angrenzenden Region vorgesehen. Wie in5und6gezeigt, ist in Randabschnitten des Dunstsprühkopfes100die an Vorder- und Rückseiten in4angeordnet sind, der Ausstoßabschnitt42für inaktives Gas in dem Rahmen30, der oben beschrieben wurde oder an an den Rahmen30angrenzenden Regionen vorgesehen.

Der Dunstsprühkopf100gemäß der Ausführungsform 1 ist nicht mit den Bereitstellabschnitten39und41für das inaktive Gas, den Bahnen45und46, und den Ausstoßabschnitten40und42für das inaktive Gas, die oben beschrieben wurden, versehen. Jedoch kann der Dunstsprühkopf100gemäß der Ausführungsform 1 auch mit den Bereitstellabschnitten39und41für das inaktive Gas, den Bahnen45und46, den Ausstoßabschnitten40und42für das inaktive Gas auf eine ähnliche Weise zu dem Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform versehen werden.

Wenn das zerstäubte Rohmaterial und das Reaktionsmaterial auf den Reaktionsraum gesprüht werden, können das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial miteinander auf dem erwärmten Substrat110reagieren, und die gewünschte Schicht wird dadurch auf der oberen Oberfläche110ausgebildet. Ein Reaktionsrest, der in dem Reaktionsraum beispielsweise erzeugt wird, wird aus dem Reaktionsraum durch die Abgasdüse Nd entfernt.

Wie oben beschrieben wurde, weist der Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform 2 Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 auf. Hier ist die Rohmaterialsprühdüse N1 zwischen der Reaktionsmaterialsprühdüse N2, die an einer Seite angeordnet ist, und der Reaktionsmaterialsprühdüse N3 die in einer Querrichtung an der anderen Seite angeordnet ist, angeordnet.

Demgemäß können unterschiedliche Reaktionsmaterialien in den Reaktionsraum ausgestoßen werden. Folglich kann eine Vielzahl Schichten auf dem Substrat110ausgebildet werden. Wenn das gleiche Reaktionsmaterial aus den Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 ausgestoßen wird, kann eine Geschwindigkeit des Ausbildens der gewünschten Schicht auf dem Substrat110verbessert werden.

Jede der Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 weist einen Temperatureinstellabschnitt auf. Demgemäß kann ein Flüssigkeitstropfen, der sich in den Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 ansammelt, beispielsweise verdampft werden. Folglich kann das verdampfte Reaktionsmaterial als das Reaktionsmaterial verwendet werden, das aus den Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 gesprüht wird.

Die Rohmaterialsprühdüse N1 ist auch mit einem Temperatureinstellabschnitt versehen. Demgemäß kann beispielsweise das Rohmaterial in einem Dunstzustand gehalten werden. Das heißt, es kann verhindert werden, dass der Flüssigkeitstropfen des Rohmaterials, der aus der Rohmaterialsprühdüse N1 ausgesprüht wird, groß wird und anschließend das Rohmaterial, welches zu dem großen Flüssigkeitstropfen wird, auf die obere Oberfläche des Substrats110tropft.

Der Basisplattenabschnitt36ist mit dem Ausstoßabschnitt38für das inaktive Gas, der das inaktive Gas auf das Substrat110sprüht, versehen. Demgemäß kann das Rohmaterial, das unterhalb des Basisplattenabschnitts36angeordnet ist, auf die Oberfläche des Substrats110gedrückt werden. Demgemäß kann beispielsweise die Verwendungseffizienz des Rohmaterials verbessert werden.

Der Basisplattenabschnitt36weist den Temperatureinstellabschnitt28auf. Demgemäß kann beispielsweise das Rohmaterial in einem Dunstzustand in dem Reaktionsraum gehalten werden. Ferner kann ein Anhaften des Flüssigkeitstropfens an dem Basisplattenabschnitt36verhindert werden. Weiterhin kann eine Schichtausbildungsreaktion an dem Substrat110verbessert werden.

Die Ausstoßabschnitte40und42für das inaktive Gas, die das inaktive Gas auf das Substrat110sprühen, sind in dem Rahmen30des Dunstsprühkopfes100oder angrenzend an den Rahmen30vorgesehen. Demgemäß kann der Reaktionsraum durch das inaktive Gas umschlossen werden, sodass beispielsweise die Diffusion des Rohmateriales aus dem Reaktionsraum unterdrückt werden kann.

7ist eine Querschnittsansicht, die eine Konfiguration eines Dunstsprühkopfes100gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt.7umfasst auch eine X-Y-Z-Koordinatenachse. Der Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform, wenn in einer X-Richtung betrachtet, weist ein ähnliches Aussehen wie der in5auf.

Der Dunstsprühkopf100gemäß der Ausführungsform 2 umfasst zwei Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3. Der Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist mit einer Reaktionsmaterialsprühdüse NT versehen und zwei Typen an Reaktionsmaterialien können aus der Reaktionsmaterialsprühdüse NT versprüht werden.

Die Konfiguration der Rohmaterialsprühdüse des Dunstsprühkopfes100gemäß der Ausführungsform 2 unterscheidet sich von der des Dunstsprühkopfes100gemäß der vorliegenden Ausführungsform, jedoch sind andere Konfigurationen gleich zueinander. Demgemäß wird nur die Konfiguration, die sich zwischen der Ausführungsform 2 und der vorliegenden Ausführungsform unterscheidet, im Folgenden beschrieben.

Wie in7gezeigt, umfasst der Dunstsprühkopf100die Reaktionsmaterialsprühdüse NT, eine Reaktionsmaterialsprühdüse N1, und eine Abgasdüse Nd. Wie in4gezeigt, sind die Reaktionsmaterialsprühdüse NT, die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in dieser Reihenfolge entlang der X-Richtung angeordnet.

Eine Seitenoberfläche der Rohmaterialsprühdüse N1 und eine Seitenoberfläche der Reaktionsmaterialsprühdüse NT stehen in Kontakt miteinander. Jedoch sind eine andere Seitenoberfläche der Reaktionssprühdüse N1 und eine Seitenoberfläche der Abgasdüse Nd um einen vorgegebenen Abstand voneinander getrennt. Das heißt, die Reaktionsmaterialsprühdüse NT und die Rohmaterialsprühdüse N1 sind angrenzend aneinander in der X-Richtung und die Abgasdüse Nd ist getrennt von den anderen Düsen N1 und NT in der X-Richtung angeordnet.

Wie oben beschrieben wurde, sind die Reaktionsmaterialsprühdüse NT, die Rohmaterialsprühdüse N1 und die Abgasdüse Nd Seite an Seite in der Horizontalrichtung (X-Richtung) angeordnet. Hier ist zumindest die Abgasdüse Nd an der äußersten Seite des Dunstsprühkopfes100(ein rechtes Ende in7) angeordnet.

Der Dunstsprühkopf100sprüht das zerstäubte Rohmaterial auf die obere Oberfläche des Substrats110, welches auf eine vorgegebene Temperatur erwärmt wird. Demgemäß wird die gewünschte Schicht auf der oberen Oberfläche des Substrats110ausgebildet. Der Anordnungsabschnitt90bewegt sich in der horizontalen Richtung (in der X-Z-Ebene) zum Zeitpunkt der Schichtausbildungsbearbeitung. Der Dunstsprühkopf100bewegt sich in der horizontalen Richtung.

Als Nächstes wird eine Konfiguration der Reaktionsmaterialsprühdüse NT beschrieben.

Die Reaktionsmaterialsprühdüse NT ist eine Düse zum Ausstoßen eines Reaktionsmaterials, die zu einer Reaktion mit dem Rohmaterial an dem Substrat110beiträgt. Zwei Ausnehmungen62und72sind im Inneren der Reaktionsmaterialsprühdüse NT ausgebildet. Wie in7gezeigt sind zwei Ausnehmungen62und72Seite an Seite in einer Vertikalrichtung (in einer Y-Richtung) in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT angeordnet. Im Speziellen ist in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT die eine Ausnehmung62in einer Oberseite und die andere Ausnehmung72in einer Unterseite angeordnet. Hier sind die eine Ausnehmung62und die andere Ausnehmung72nicht miteinander in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT verbunden, sondern bilden getrennte Räume aus.

Wie in7gezeigt ist ein Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt61in einer Seitenoberfläche der einen Ausnehmung62in einer Z-Richtung vorgesehen. Ein Reaktionsmaterial wird von außerhalb der Reaktionsmaterialsprühdüse NT in die eine Ausnehmung62über einen Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt61bereitgestellt.

Der andere Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt71ist in einer Seitenoberfläche der anderen Ausnehmung72in der Z-Richtung vorgesehen. Das andere Reaktionsmaterial wird von außerhalb der Reaktionsmaterialsprühdüse NT in die andere Ausnehmung72über den anderen Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt71bereitgestellt.

Hier kann jedes Reaktionsmaterial ein Gas oder eine Flüssigkeit sein. Wenn das Reaktionsmaterial flüssig ist, wird die Flüssigkeit (das Reaktionsmaterial) verwendend Ultraschallvibrationen zerstäubt, verläuft beispielsweise über eine in den Zeichnungen nicht gezeigte Route gemeinsam mit einem Trägergas und wird zu der Reaktionsmaterialsprühdüse NT gefördert. Das eine Reaktionsmaterial, das aus dem Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt61ausgegeben wird, füllt (wird bereitgestellt an) die Ausnehmung62in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT. Das andere Reaktionsmaterial, das aus dem anderen Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt71ausgegeben wird, füllt (wird bereitgestellt an) die Ausnehmung72in der Reaktionsmaterialbereitstelldüse NT.

Obwohl nicht in7gezeigt, kann ein Begradigungsabschnitt aufweisend die Funktion und die Wirkung, die in den Ausführungsformen 1 und 2 beschrieben wurde (das heißt, eine Strömung des Reaktionsmaterials wird in den Ausnehmungen62und72begradigt und sogar wenn das Reaktionsmaterial und eine Atmosphäre miteinander reagieren und Partikel dadurch erzeugt werden, wird ein Einfangen der Partikel in einem Bereich zwischen der unteren Oberfläche der Ausnehmungen62und77und den Reaktionsmaterialausstoßabschnitten64und75verbessert), in den Ausnehmungen62und72vorgesehen sein.

Der eine Reaktionsmaterialausstoßabschnitt65ist in einer Seitenoberfläche der einen Ausnehmung62in der X-Richtung vorgesehen. Der eine Reaktionsmaterialausstoßabschnitt65ist in einer Position vorgesehen, die sich entfernt von einer unteren Oberfläche der einen Ausnehmung62befindet.

Der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt75ist in einer Seitenoberfläche der anderen Ausnehmung72in der X-Richtung vorgesehen. Der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt75ist an einer Position vorgesehen, die entfernt von einer unteren Oberfläche der andren Ausnehmung72vorgesehen ist.

In dem Dunstsprühkopf100sind ein Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67und der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77in der unteren Oberfläche des Dunstsprühkopfes100(die Reaktionsmaterialsprühdüse NT in7) vorgesehen, das heißt, in einer Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Das eine Reaktionsmaterial wird aus dem einen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67auf das Substrat110ausgestoßen und das andere Reaktionsmaterial wird aus dem anderen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77auf das Substrat110ausgestoßen.

Die Bahnen66und76sind in dem Dunstsprühkopf100vorgesehen (die Reaktionsmaterialsprühdüse NT in dem Konfigurationsbeispiel von7). Der eine Reaktionsmaterialausstoßabschnitt65ist mit dem einen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67über die Bahn66verbunden. Der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt75ist mit dem anderen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77über die Bahn76verbunden.

In der Konfiguration von7ist ein Rohmaterialausstoßabschnitt7, der das Rohmaterial auf das Substrat110ausstößt, in der unteren Oberfläche der Rohmaterialsprühdüse NT vorgesehen. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Bahn6, die den Rohmaterialausstoßabschnitt5und den Rohmaterialausstoßabschnitt7verbindet, in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT vorgesehen.

Folglich sind in dem Konfigurationsbeispiel von7der eine Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67, der Rohmaterialausstoßabschnitt7und der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77in der Seite des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt, in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet. Jeder der Reaktionsmaterialausstoßabschnitte67und77und ein Reaktionsmaterialausstoßabschnitt7bilden ein längliches Öffnungsloch mit einer schlitzartigen Form aus. Eine Breite von jeder Öffnung (eine Größe in der X-Richtung in7) beträgt im Wesentlichen 0,1 mm bis 10 mm.

Das eine Reaktionsmaterial wird von dem einen Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt61in die Ausnehmung62in der Reaktionsmaterialsprühdüse NT bereitgestellt. Anschließend füllt das eine Reaktionsmaterial die Ausnehmung62und wird im Folgenden von dem einen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt65zu dem einen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67über die Bahn66geführt. Anschließend wird das eine Reaktionsmaterial aus dem einen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67in Richtung der oberen Oberfläche des Substrats110ausgestoßen. Das andere Reaktionsmaterial wird von dem anderen Reaktionsmaterialbereitstellabschnitt71in die Ausnehmung72bereitgestellt. Anschließend füllt das andere Reaktionsmaterial die Ausnehmung72und wird im Folgenden von dem anderen Reaktionsmaterialentladungsabschnitt75zu dem anderen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77über die Bahn76geführt. Anschließend wird das andere Reaktionsmaterial aus dem anderen Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77in Richtung der oberen Oberfläche des Substrats110ausgestoßen.

Wie in7gezeigt, sind der eine Reaktionsmaterialausstoßabschnitt67, der Rohmaterialausstoßabschnitt7, der andere Reaktionsmaterialausstoßabschnitt77und der Abgasabschnitt d7 in dieser Reihenfolge in der X-Richtung angeordnet.

Die Abgasdüse Nd ist getrennt von den anderen Düsen NT und N1 in der X-Richtung angeordnet. Demgemäß wird ein offener Deckenabschnitt35zwischen der Abgasdüse Nd und den anderen Düsen NT und N1 erzeugt. Folglich wird auch in der vorliegenden Ausführungsform der Dunstsprühkopf100mit einem Basisplattenabschnitt36versehen. Der Basisplattenabschnitt36deckt den offenen Deckenabschnitt35von einer Seite aus ab, an der das Substrat110angeordnet ist (siehe7).

Der Basisplattenabschnitt36gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist auch mit einem Bereitstellabschnitt für inaktives Gas (nicht gezeigt), einer Bahn44und einem Ausstoßabschnitt38für inaktives Gas auf eine ähnliche Weise wie bei der zweiten Ausführungsform versehen, sodass das inaktive Gas auf das Substrat110gesprüht werden kann. Ferner ist der Basisplattenabschnitt36gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit einem Temperatureinstellabschnitt28auf eine ähnliche Weise wie bei der Ausführungsform 2 versehen.

In der vorliegenden Ausführungsform ist die Reaktionsmaterialsprühdüse NT auch mit Temperatureinstellabschnitten80und81versehen. Der Temperatureinstellabschnitt80führt eine Temperatureinstellung an der einen Ausnehmung62durch. Der Temperatureinstellabschnitt81führt eine Temperatureinstellung an der anderen Ausnehmung72durch. In dem Ausführungsbeispiel von7wird die Temperatureinstellung der Rohmaterialsprühdüse N1 durch einen Abschnitt des Temperatureinstellabschnittes28, der in dem Basisplattenabschnitt36vorgesehen ist, durchgeführt.

Der Dunstsprühkopf100umfasst auch in der vorliegenden Ausführungsform einen Rahmen30in der Seite (untere Oberfläche) des Dunstsprühkopfes100, die auf das Substrat110zeigt. Ferner, wie in7gezeigt, ist auch in der vorliegenden Ausführungsform der Dunstsprühkopf100mit den Bereitstellabschnitten39und41für inaktives Gas, Bahnen45und46und Ausstoßabschnitten40und42für inaktives Gas auf eine ähnliche Weise wie bei der Ausführungsform 2 versehen.

Wenn das zerstäubte Rohmaterial und das Reaktionsmaterial zu dem Reaktionsraum gesprüht werden, reagieren das Rohmaterial und das Reaktionsmaterial miteinander an dem erwärmten Substrat110und die gewünschte Schicht wird dadurch auf der oberen Oberfläche des Substrats110ausgebildet. Ein Reaktionsrest, der beispielsweise in dem Reaktionsraum erzeugt wird, wird von dem Reaktionsraum durch die Abgasdüse Nd entfernt.

Wie oben beschrieben wurde, ist der Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit zwei Ausnehmungen62und72in der einen Reaktionsmaterialsprühdüse NT versehen, und zwei Arten an Reaktionsmaterialien werden aus der Reaktionsmaterialsprühdüse NT in Richtung des Substrats110gesprüht.

Demgemäß gibt es keine Notwendigkeit zwei Reaktionsmaterialsprühdüsen N2 und N3 in dem Dunstsprühkopf100vorzusehen, wie in Ausführungsform 2 beschrieben wurde, wenn die zwei Typen an Reaktionsmaterialien versprüht werden. Das heißt, der Dunstsprühkopf100gemäß der vorliegenden Ausführungsform ermöglicht eine Raumeinsparung.

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